定價(元): | 16.00元 |
發布日期: | 2014/10/14 |
實施日期: | 2015/4/1 |
標準號: | JC/T 2243-2014 |
標準名稱: | 等離子體增強化學氣相沉積工藝用覆膜石英管 |
標準英文名稱: | Quartz tube covered in a film for PECVD |
標準狀態: | 現行 |
ICS分類: | 81.040.30 |
中標分類: | Q35 |
歸口單位: | 全國工業玻璃和特種玻璃標準化技術委員會(SAC/TC 447) |
起草單位: | 上海強華石英有限公司、久智光電子材料科技有限公司、上海神舟新能源發展有限公司 |
起草人: | 張葆青、白鳳茹、周文華、黃良吉、陳平 |