定價(元):16.00元
發布日期:2014/10/14
實施日期:2015/4/1
標準號:JC/T 2243-2014
標準名稱:等離子體增強化學氣相沉積工藝用覆膜石英管
標準英文名稱:Quartz tube covered in a film for PECVD
標準狀態:現行
ICS分類:81.040.30
中標分類:Q35
歸口單位:全國工業玻璃和特種玻璃標準化技術委員會(SAC/TC 447)
起草單位:上海強華石英有限公司、久智光電子材料科技有限公司、上海神舟新能源發展有限公司
起草人:張葆青、白鳳茹、周文華、黃良吉、陳平